9.38 亿元!ASML 第一台全新 EUV 极紫外光刻机交付

2021-07-22 09:19:41 admin

作为全球第一光刻机供应商,荷兰 ASML ( 阿斯麦 ) 今天公布了 2021 年第二季度财报。

当季,ASML 净销售额 40 亿欧元,毛利率 50.9%,净收入 10 亿欧元,净预订额 83 亿欧元,其中EUV 极紫外光刻机就有 49 亿欧元,而总的积压订单金额已达 175 亿欧元。

ASML 在财报中还披露,第一台全新 TWINSCAN NXE:3600D EUV 光刻机系统已经交付给客户,相比之前的 NXE:3400C 生产力提高了 15-20%,覆盖率(套刻精度)提高了约 30%。

不过,ASML 未透露接收客户是哪一家。

ASML 还表示,正努力增加 EUV 光刻机在存储行业的量产应用,计划协助三个 DRAM 内存芯片客户在未来的工艺节点中导入 EUV。

ASML EUV 光刻机目前还是第一代产品,EUV 光源波长 13.5nm 左右,物镜 NA 数值孔径 0.33,并发展了一系列型号。

最早量产出厂的是 NXE:3400B,产能有限,晶圆产能只有 125PWH,目前的出货主力是 NXE:3400C,产能提升到 135WPH,而最新的 NXE:3600D 产能进一步提升到 160WPH,价格据说也达到了 1.45 亿美元 ( 约合人民币 9.38 亿元 ) 。

第二代 EUV 光刻机将会是 NXE:5000 系列,物镜 NA 提升到 0.55,进一步提高光刻精度,但原计划 2023 年问世,现在推迟到 2025-2026 年,而价格预计将突破 3 亿美元。

第三季度,ASML 预计净销售额 52-54 亿欧元,毛利率 51-53%。



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