对接光刻机芯制程,中国电科破冰28nm离子注入机,击碎美芯封锁链

2021-05-04 16:51:57

对于芯片代工厂商来说:光刻机是不可或缺的,如果没有光刻机对芯片进行曝光印章,刻蚀机将无法对芯片进行雕刻,芯片也将无法生产。除了光刻机外,离子注入机也很重要。在芯片进行曝光生产之前,如果没有离子注入机对硅片进行掺杂,芯片的电路集成规格、晶体管集成度将会大幅降低。

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处理器芯片是支撑手机、PC端设备进行数据处理、信息传输的重要器件。在芯片制程中,代工厂商对处理器芯片的各个环节的要求十分严格,稍加疏忽,便可能影响到芯片的良品率。

决定芯片良品率高低的因素有很多,最重要的当属离子注入环节。而在离子注入环节中担任“总指挥”的是离子注入机。和我们在芯片代工领域中被光刻机“卡脖子”的处境一样。我们在离子注入机方面,也存在着被国外的离子注入机“卡脖子”的问题。

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先给大家科普一下什么是离子注入机。离子注入机在芯片制造过程中主要负责对芯片进行电离子改造,按照预订方式改变材料的电性能。在光刻机对芯片进行曝光生产前,离子注入机对硅片进行不同元素掺杂,能够提高芯片的集成度、良品率和寿命。简单来说,离子注入机在芯片制程中起到了优化硅片、提高芯片性能的作用。

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一直以来,我国的半导体厂商使用的离子注入机都是来自国外。抛去成本营收不说,长期依赖国外的技术设备,显然不利于我国半导体行业的发展。更何况现如今是在美国高强度打压我国半导体发展的背景下。
针对此类现状,中国电科潜心专研,成功击碎国外技术壁垒,推出了可供28纳米及28纳米以上制程芯片使用的离子注入机。值得一提的是:中国电科推出的28纳米离子注入机,刚好可以搭配上海微电子的28纳米光刻机,加速我们实现芯片完全自主化生产目标的脚步。

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令人振奋的是:有关离子注入机的核心技术和相关设备生产方面,中国电科实现了28纳米及28纳米以上制程的全谱系国产化。也就是说,在有关28纳米、28纳米以上制程的离子注入机的相关零部件生产上,我们不用担心会被国外“卡脖子”。
虽说与国外的离子注入机相比,我们在该方面还处在比较落后的位置。但总的来说:中国电科击碎国外垄断推出的28纳米离子注入机,对于我们发展半导体行业起着重要作用。有了它,我们可以大幅度提高28纳米及28纳米以上制程芯片的良品率,提高我们在芯片代工领域中的竞争力。

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况且除了手机、电脑等高端智能设备,目前大部分的半导体仪器对于芯片制程的要求还停留在28纳米以上,例如当下缺芯最严重的智能汽车领域。顺时代者,昌也。在汽车行业严重缺芯的大背景下,中国电科推出的28纳米离子注入机,不仅可以弥补我们在芯片代工设备上的不足,也会为我国代工行业的营收增长,增添一份力量。

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我国对半导体行业代工领域的重视,促使很多代工厂商加快研发。目前我们在芯片代工领域中已经取得了许多突破。在有关芯片代工设备的前沿技术上,中科院实现了5纳米激光雕刻技术的应用,推出了5纳米掩膜版。中微公司推出5纳米制程的刻蚀机,在实际应用中获得了三星、台积电的订单。清华、哈工大团队破冰EUV光源壁垒,推出了与ASML公司同等水平的EUV光源。
有志者,事竟成。针对我们在半导体领域被核心技术“卡脖子”的现状。我国成立了“全国集成电路委员会”,随着越来越多“有志之士”的加入,相信过不了多久,困扰我国半导体发展的代工设备难题,将会迎刃而解。

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